我国需求光刻机,尤其是支撑先进制程的高端光刻机。
具体来说,便是 EUV (极紫外光源)光刻机。
现在,世界上能够制作 EUV 光刻机的,只要一家公司,它便是荷兰光刻机巨子 ASML(中文名为阿斯麦)。实际上,作为一家外企,ASML 进入到我国商场现已超越 30 年,能够说是根由深沉。
可是,因为商业之外的原因,ASML 无法向我国大陆商场出口 EUV 光刻机,虽然它自己其实是十分愿意的。
背面的始作俑者,仍是美国。
ASML 与我国商场的深沉根由
我国大陆商场,一直是 ASML 在全球范围内最重要的商场之一。
以 2020 年为例,ASML 在第二季度一共卖出了 61 台光刻机(包含新设备和二手设备),在第三季度卖出了 60 台——这其间,有超越 24 台是卖给了我国大陆。
依照 ASML 全球副总裁、我国区总裁沈波的说法,2020 年第二、第三季度,公司发往我国大陆地区的光刻机台数超越了全球总台数的 20%。
当然,这些出售到我国大陆的光刻机,不包含 EUV 设备。
对此,沈波表明:
ASML 有必要要在恪守法律法规的前提下进行光刻机出口。但咱们对向我国出口光刻机是坚持很敞开情绪的,咱们对全球客户都天公地道,只要是咱们能够供给的技能和设备,咱们都会全力支撑。
能够看到,假如扫除外界要素的搅扰,ASML 本身是很有诚心与我国协作的。
雷锋网了解到,ASML 建立于 1984 年;其时,市面上尚有多家出产光刻机的公司,而 ASML 位居最终一名。不过,仅用 2 年时刻,ASML 就研制出了型号为 PAS2500 的晶圆步进式光刻机(Stepper),它能够出产 VLSI 一代的芯片,这使 ASML 在商场上站稳了脚跟,并具有了必定的名望。
值得一提的是,早在 1988 年,ASML 在进军亚洲之时,就向我国大陆出售了最早一台设备。
通过三十多年的深耕,ASML 在我国大陆现已出售 700 多台光刻机装机,涵盖了 ASML 公司的(EUV 设备之外)的绝大部分类型产品。
不仅如此,在 2000 年天津建立分公司的基础上,ASML 现在在我国设有 12 个办公室,11 个仓储物流中心,2 处技能开发中心(深圳和北京,做核算光刻、量测等开发),具有 1000 多名职工。
此外,ASML 还在我国专门建设了 1 个培训中心,培育光刻职业人才。
正如沈波所言,在恪守法律法规的一起,ASML 全力支撑客户和我国集成电路职业的开展,在每个阶段 ASML 和我国集成电路业界都有着很好的协作。
他还表明,ASML 在我国的全体状况越来越好,未来服务会更多样化,对我国的投入也会越来越大。
EUV 光刻机未能出口我国大陆的根本原因
作为全球最大的光刻机企业,ASML 单独享受着 EUV 光刻机技能带来的商业开展便当,但一起也不得不接受大国竞赛和抵触下的沉重政治桎梏。
一个典型的事例,便是 EUV 光刻机向我国大陆出口受阻。
EUV 光刻机是光刻机在开展进程中的第五代产品,因为采用了极紫外线,它的最小工业节点到了 22nm-7nm,能够说是世界上最先进的光刻机设备——而这种设备,只要 ASML 能造出来。
在 EUV 技能的研制层面,ASML 也阅历了艰苦行进的进程。
实际上 ASML 从 1999 年就开端 EUV 光刻机的研制作业,原方案在 2004 年推出产品,但直到 2010 年才研制出第一台 EUV 原型机,2016 年才完成下流客户供货——乃至到 2019 年,第一款 7nm EUV 工艺的芯片才正走向商用。
不过,在美国主导的《瓦森纳协议》(Wassenaar Arrangement)的影响下,这一高端设备对我国大陆的出口遭到严厉约束——一直到 2018 年才产生起色。
2018 年 4 月,中芯世界向 ASML 订货了一台 EUV 光刻机,价值 1.2 亿美元,估计 2019 年年头交货——后来此事被报导后,ASML 回应称,对包含我国客户在内的全球客户都天公地道,且向我国出售 EUV 光刻机并没有违背《瓦森纳协议》。
其时,荷兰政府确实向 ASML 发放了出口许可证。
但是,天有不测风云,这场买卖从一开端就遭到阻止。依据知情人士的说法,美国当即盯上了这笔买卖——接下来的几个月里,美方官员至少四次与荷兰官员开会,评论可否直接封杀这笔买卖。
但落井下石的是,2018 年 12 月 1 日,ASML 元件供货商 Prodrive 的一家工厂又产生严重火灾,ASML 其时揭露表明,2019 年年头的出货估计将遭递延。
与此一起,美国政府持续就这笔买卖进行背面运作。
2019 年元旦前后,美国国防部官员在荷兰驻华盛顿大使馆向对方评论了这笔买卖的 “安全危险”;随后在 2019 年 6 月,美国国务卿蓬佩奥拜访荷兰,再次向荷兰政府施加压力,要求中止这笔买卖。
值得一提的是,2019 年 6 月 30 日,荷兰政府向 ASML 颁布的出口许可证到期。
2019 年 7 月,荷兰辅弼 Mark Rutte 拜访美国,美国白宫高级官员向他展现了一份情报陈述,内容是所谓 “我国取得光刻机的或许结果”。据路透社报导,这次拜访后不久,荷兰政府决议不再续签这份许可证——尔后 ASML 未出现在荷兰外交部数据库的续签名单上。
尔后,关于 EUV 光刻机向我国大陆出口,ASML 的官方说法一直是:公司仍在等候新许可证请求的同意。而针对媒体关于美国施压的报导,荷兰外交部也在 2020 年在 1 月 15 日表明:
在决议是否签宣布口许可证时,荷兰政府要权衡经济和安全利益。
由此,ASML 向我国商场出售 EUV 光刻机的方案,就此放置。
小结
2020 年,跟着美国对我国半导体范畴的镇压,国人关于光刻机的重视度越来越高,而 ASML 也因而遭到重视。
但能否向我国大陆出售 EUV 光刻机,确实非 ASML 所能左右。
能够确认的是,关于向我国大陆商场出售光刻机一事,ASML 一直是十分活跃的。依据 ASML 我国区总裁沈波的最新说法,ASML 现已向荷兰政府提交出口 EUV 光刻机的请求,现在还在等候荷兰政府的出口许可证。
而荷兰政府,则还在等候美国政府的情绪。
当然,现在美国政府的情绪也存在不确认性,特朗普眼下必定无心考虑此事,恐怕全部还要比及下一年新一届美国政府正式就任之后。